潔凈技術(shù)的歷史與發(fā)展
潔凈技術(shù)的誕生
潔凈技術(shù)(cleanroom)是適應實(shí)驗研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門(mén)新興技術(shù)。
潔凈室(cleanroom)這個(gè)名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學(xué),當時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng )部感染率的處置室、手術(shù)室這類(lèi)滅菌處理的工作環(huán)境。
現代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞,但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同,現代潔凈室形成一項專(zhuān)門(mén)技術(shù),其歷史不過(guò)只有半個(gè)世紀。
一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展,都是出于生產(chǎn)的需要,潔凈室技術(shù)也不例外。在第二次世界大戰期間,美國生產(chǎn)的飛機導航用氣浮陀羅儀,由于質(zhì)量不穩定,每10個(gè)陀羅儀平均要返工120次。50年代初朝鮮半島戰爭期間,美國的16萬(wàn)臺電子通訊設備,更換了百萬(wàn)個(gè)以上的電子部件,雷達出故障的時(shí)間占84%,潛水艇聲納出故障的時(shí)間占48%.原因都是電子器件、零部件的可靠性差,質(zhì)量不穩定。軍方與廠(chǎng)商究其原因,最終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不清潔有關(guān)。盡管當時(shí)曾不惜工本,采取了種種嚴密措施來(lái)封閉生產(chǎn)車(chē)間,但收效甚微。直到50年代初,將美國原子能委員會(huì )為解決對人體有害的放射性塵埃的捕集問(wèn)題,于1951年研制成功的高效空氣過(guò)濾器(HEPA-HighEfficiencyParticulateAirFilter)應用于生產(chǎn)車(chē)間的送風(fēng)過(guò)濾,才真正誕生了具有現代意義的潔凈室。
1961年美國桑第阿國家實(shí)驗室(SandiaNationalLaboratories)的高級研究人員懷特菲爾特(WillisWhitfield)提出了當時(shí)稱(chēng)之為層流(laminarflow),現正名為單向流(unidirectionalflow)的潔凈空氣流組織方案,并應用于實(shí)際工程。從此潔凈室達到了前所未有的更高潔凈級別。同年美國空軍制定頒發(fā)了世界上第一個(gè)潔凈室標準TO-00-25-203空軍指令“潔凈室與潔凈工作臺的設計與運轉特性標準”。在些基礎上,1963年12月公布了將潔凈室劃分為三個(gè)級別的美國聯(lián)邦標準FED-STD-209.至此形成了完善的潔凈室技術(shù)的雛形。以上的這三個(gè)關(guān)鍵的進(jìn)步,常被譽(yù)為現代潔凈室發(fā)展歷史上的三個(gè)里程碑。
上世紀六十年代中期,潔凈室在美國如雨后春筍涌現在各種工業(yè)部門(mén)。它不僅用于軍事工業(yè),也在電子、光學(xué)、微型軸承、微型電機、感光膠片、超純化學(xué)試劑等工業(yè)部門(mén)得到推廣,對當時(shí)科學(xué)技術(shù)和工業(yè)發(fā)展起了很大的促進(jìn)作用。
七十年代初潔凈室的建設重點(diǎn)開(kāi)始轉向醫療、制藥、食品及生化等行業(yè)。除美國而外,其它工業(yè)先進(jìn)國家,日本、德國、英國、法國、瑞士、前蘇聯(lián)、荷蘭等也都十分重視并先后大力發(fā)展了潔凈技術(shù)。
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